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电子级乐鱼

电子级乐鱼 

1、产品用处


产品次要用于集成电路(IC)和超大范围集成电路(VLSI)制造中,电子级高纯乐鱼是要害帮助质料之一。次要用于晶圆外表洗濯、芯片加工历程中的洗濯和蚀刻等工序。在太阳能光伏行业中,用于硅片外表洗濯、蚀剂等范畴。硅锭到硅片,再到电池片的第一道工艺步伐:洗濯制绒关键会用到产品。在液晶表现器行业,用于玻璃基板洗濯、氮化硅、二氧化硅蚀剂等。在TFT—LCD、半导体财产中也被普遍利用。还可用作剖析试剂、原子能产业化学试剂和制备高纯度的含氟化学品。现在,在国际根本上是作为蚀刻剂和洗濯剂用于微电子行业,其他方面用量较少。

2、产品分类

UP—S级:实用于0.35—0.80um集成电路加工工艺,金属杂质含量低于1.00ug/L,颠末0.05um孔径过滤器过滤,控制0.20Ixm粒子,在100级污染情况中灌装到达SEMIC8尺度。

UP级:实用于1.00um集成电路及TFT—LCD制造工艺,金属杂质含量低于10mg/kg,颠末0.20um孔径过滤器过滤,控制0.50um粒子,在100级污染情况中灌装,到达SEMIC7尺度。

EL级:金属杂质含量低于100mg/kg,控制1.00um粒径粒子,到达SEMI C1,C2尺度,合适中小范围集成电路及电子元件加工工艺。

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